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本書適合機械系、電機系、製造系及相關工程學系大學部高年級學生及碩士班使用,內容以微系統之設計製造及封裝之基本知識和經驗為主。本書特別強調讓學生應用先前學習到的知識及經驗至微系統設計與製造。本書中微系統相關主題的組織及許多設計實例,也特別適合現職工程師入門之用。
本書可供大學部及研究所一學期十五週之課程,學生須先修過工程數學、普通物理及普通化學,以及基本材料科學、電子學、機械設計、電路學及電磁學等工程學科目。
過去二十年微系統工程的進展,不管是速度或應用範圍都很矚目。微系統工程泛指微機電系統及其周邊的設計、製造和封裝。許多產業專家預測微系統在航太、汽車、生物科技、消費產品、國防、環境保護與安全、醫療保健、製藥及無線通訊等工業將於2000年產生高達820億美元的利潤。
由於上述產業對微系統的需求升高使得大學工程教育者必須提供微系統相關課程,還有許多現職工程師也極需得到微系統設計與製造的知識及經驗。由於微系統涵蓋非常多的工程學門與科學,因此工程師與工程教育者需要一本深入介紹微系統的書以釐清學習微系統的目標及目的。本書出版的目的即在於使讀者深入了解微系統產品的設計、製造及封裝之方法和技術。
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